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超净工作台的检定方法

超净工作台的检定方法
 
1.泄漏检定方法
 
使用多分散DOP气溶胶(冷烟)发生器向高效空气过滤器上游侧发DOP气溶胶(冷烟),同时用检漏装置的采样器在下游侧距高效空气过滤器出口约2.5cm处进行扫描巡检。采样为47.2×10-5m2/s[28.3L/min],巡检速度≤5cm/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01%时,则认为有明显泄漏,应进行堵漏。
 
2.操作区洁净度检定方法
 
尽量采用大流量(47.2×10-5m2/s[28.3L/min])尘埃粒子计数器,也可以采用小流量尘埃粒子计数器,但采样量不得小于1L。当操作区气溶胶浓度达到稳定条件,在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处(垂直层流超净工作台面250mm的中心处)连续测试5次,求其平均值。洁净度应符合1节(2)要求。
 
3.风速检定方法
 
采用便携式热球电风速计或便携式热敏电阻恒温风速计进行测试。在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积,各面积中心点即为风速测点。各测点间距离不应大于25cm。由各测点风速值计算出截面风算术平均值。风速和风速均匀性应符合1

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